電子級水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（GB/T 11446.1-2013）
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電子級水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（GB/T 11446.1-2013）
GB/T 11446.1-2013《電子級水》規(guī)定了電子級水的級別、技術(shù)指標(biāo)要求、試驗(yàn)方法和檢驗(yàn)規(guī)則，適用于電子和半導(dǎo)體工業(yè)用高純清洗用水。電子級水分為四個級別：Ⅰ 級、Ⅱ 級、Ⅲ 級、Ⅳ 級。以下是各級別的技術(shù)指標(biāo)要求：
| 項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) | ||||
| EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ | ||
| 電阻率（25℃）/MΩ·cm | ≥18 | ≥15 | ≥12 | ≥0.5 | |
| （5%時間不低于17） | （5%時間不低于13） | ||||
| 全硅/（μg/L） | ≤2 | ≤10 | ≤50 | ≤1000 | |
| 微粒數(shù)/（個/L） | 0.05μm~0.1μm | 500 | - | - | - |
| 0.1μm~0.2μm | 300 | - | - | - | |
| 0.2μm~0.3μm | 50 | - | - | - | |
| 0.3μm~0.5μm | 20 | - | - | - | |
| ＞0.5μm | 4 | - | - | - | |
| 細(xì)菌個數(shù)/（個/mL） | ≤0.01 | ≤0.1 | ≤10 | ≤100 | |
| 銅/（μg/L） | ≤0.2 | ≤1 | ≤2 | ≤500 | |
| 鋅/（μg/L） | ≤0.2 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
| 鎳/（μg/L） | ≤0.1 | ≤1 | ≤2 | ≤500 | |
| 鈉/（μg/L） | ≤0.5 | ≤2 | ≤5 | ≤1000 | |
| 鉀/（μg/L） | ≤0.5 | ≤2 | ≤5 | ≤500 | |
| 鐵/（μg/L） | ≤0.1 | - | - | - | |
| 鉛/（μg/L） | ≤0.1 | - | - | - | |
| 氟/（μg/L） | ≤1 | - | - | - | |
| 氯/（μg/L） | ≤1 | ≤1 | ≤10 | ≤1000 | |
| 亞硝酸根/（μg/L） | ≤1 | - | - | - | |
| 溴/（μg/L） | ≤1 | - | - | - | |
| 硝酸根/（μg/L） | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
| 磷酸根/（μg/L） | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
| 硫酸根/（μg/L） | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
| 總有機(jī)碳/（μg/L） | ≤20 | ≤100 | ≤200 | ≤1000 | |
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